什么是 机械加工 机械加工是一种用加 工机械对工件 的外形尺寸或 性能进行改变 的过程。按被 加工的工件处 于的温度状态 分为冷加工 和热加工。一 般在常温下加 工,并且 不引起工件的 化学或物相变 化称冷加工 。一般在高于 或低于常温状 态的加工会 引起工件的化 学或物相变化 称热加工。 冷加工按加工 方式的差别可 分为切削加工 和压力加工。 热加工常见有 热处理煅造 铸造和焊接 。另外装配时 常常要用到冷 热处理。例如:轴 承在装配时往 往将内圈放入 液氮里冷却使 其尺寸收缩 将外圈适当加 热使其尺寸放 大然后再将 其装配在...

　　什么是 机械加工 机械加工是一种用加 工机械对工件 的外形尺寸或 性能进行改变 的过程。风云体育官网按被 加工的工件处 于的温度状态 分为冷加工 和热加工。一 般在常温下加 工,并且 不引起工件的 化学或物相变 化称冷加工 。一般在高于 或低于常温状 态的加工会 引起工件的化 学或物相变化 称热加工。 冷加工按加工 方式的差别可 分为切削加工 和压力加工。 热加工常见有 热处理煅造 铸造和焊接 。另外装配时 常常要用到冷 热处理。例如:轴 承在装配时往 往将内圈放入 液氮里冷却使 其尺寸收缩 将外圈适当加 热使其尺寸放 大然后再将 其装配在一起 。火车的车轮 外圈也是用加 热的方 法将其套在基体上 冷却时即可保 证其结合的牢 固性(此种方法 现在不知道是 否还 微型机械加工技术的国外发展现状 1959 年RichardPFeynman(1965 年诺贝尔物理奖获得者)就提出了微型机械的设想。1962 年第一个硅微型压力传感器问世气候开发出尺寸为 50~500 m 的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及联接件等微机械。1965 年斯坦福大学研制出硅脑电极探针后来又在扫描隧道显微镜、微型传感器方面取得成功。1987 年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60~12 m 的利用硅微型静电机显示出利用硅微加工工艺制造小可动结构并与集成电路兼容以制造微小系统的潜力。 微型机械在国外已受到政府部门、企业界、高等学校与研究机构的高度重视。风云体育官网美国 MIT、Berkeley、Stanford\AT&T 和的 15 名科学家在上世纪八十年代末提出小机器、大机遇:关于新兴领域--微动力学的报告的国家建议书声称由于微动力学(微系统)在美国的紧迫性应在这样一个新的重要技术领域与其他国家的竞争中走在前面建议中央财政预支费用为五年 5000 万美元得到美国领导机构重视连续大力投资并把航空航天、信息和 MEMS 作为科技发展的三大重点。美国宇航局投资 1 亿美元着手研制发现号微型卫星美国国家科学基金会把 MEMS 作为一个新崛起的研究领域制定了资助微型电子机械系统的研究的计划从 1998 年开始资助 MIT加州大学等 8 所大学和贝尔实验室从事这一领域的研究与开发年资助额从 100 万、200 万加到 1993 年的 500 万美元。1994 年发布的《美国国防部技术计划》报告把 MEMS 列为关键技术项目。美国国防部高级研究计划局积极领导和支持 MEMS 的研究和军事应用现已建成一条 MEMS 标准工艺线以促进新型元件/装置的研究与开发。美国工业主要致力于传感器、位移传感器、应变仪和加速度表等传感器有关领域的研究。很多机构参加了微型机械系统的研究如康奈尔大学、斯坦福大学、加州大学伯克利分校、密执安大学、威斯康星大学、老伦兹得莫尔国家研究等。加州大学伯克利传感器和执行器中心(BSAC)得到国防部和十几家公司资助 1500 万元后建立了 1115m2 研究开发 MEMS 的超净实验室。

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