1、加工机理，除传统加工方法的精密化外，非传统加工(特种加工)方法发展迅速。当前，传统加工方法主要有金刚石刀具精密切削、金刚石微粉砂轮精密磨削、风云体育官网精密高速切削和精密砂带磨削等。非传统加工方法主要有电子束、离子束、激光束等高能束加工、电火花、电化学加工、光刻(刻蚀)等，并出现了具有复合加工机理的电解研磨、磁性研磨、磁流体抛光、超声珩磨等复合加工方法，加工机理的研究是精密和超精密加工的理论基础和新技术的生长点。

　　3、加工设备和工艺装备，精密加工应具有高精度，风云体育官网高刚性，高稳定性和自动化的机床，相应的金刚石工具，立方氮化硼工具，金刚石砂轮，立方氮化硼砂轮，以及相应的高精度，风云体育官网高刚性夹具和其他加工设备才可以保证加工质量。精密加工应首先考虑具有相应精度的精密加工机床，许多精密加工通常是从超精密机床的设计和生产开始的，并要配置所需刀具。目前，通用系列的精密机械加工机床较少，批量也不会大，精密机械加工机床造价很高，需专门订货，如果在已有的精密机械加工机床上加工尚不能满足要求时，可通过工艺措施或误差补偿等来提高加工精度。